半导体晶圆制造、光伏还原工艺、锂电池化成车间普遍使用氢气作为保护气氛或工艺气体。高纯工艺腔体内氢气纯度直接影响产品良率;车间管路、腔体泄漏会造成氢气积聚,引发爆炸风险。对仪器测量精度、气体抗干扰能力、续航能力都提出较高要求。蓝景便携式氢气分析仪适配新能源与半导体洁净车间检测场景。
半导体高纯工艺管控优选热导式机型,量程 0~100% vol,精准分析保护气氢气纯度,及时发现腔体漏气、供气不纯等问题;车间环境泄漏巡检选用电化学 ppm 级别机型,排查管道接头、阀门微小泄漏。传感器针对性优化,抵御车间常见工艺副产物干扰,测量结果稳定、重复性≤±1%。


7 英寸触控图形界面直观易用,实时曲线便于工艺人员观察浓度波动,支持自动定时记录数据,长时间腔体取样测试无需人工持续记录。搭载先进 BMS 电池管理系统,精准管控电量,避免洁净车间巡检中途停机。超长续航机型连续工作可达 37 小时,满足厂房多层车间巡回检测。模块化设计,过滤器易于更换,阻挡洁净环境中少量粉尘,保护核心传感器。
整机结构紧凑轻便,折叠提手便于人员携带穿行生产线;支持扩散式与泵吸式两种进气方案,狭小设备腔体可外接采样管路检测。所有检测数据通过 USB 导出 Excel 格式报告,便于品质部门存档追溯。仪器工作温湿度区间宽泛,适应洁净车间恒温环境,也可用于外围动力气体管路巡检。
应用场景涵盖晶圆退火气氛检测、硅片光伏还原炉氢气监测、锂电池车间氢气泄漏巡检、气体输送管路密封性测试。蓝景便携式氢气分析仪依靠高精度、低漂移、长续航特性,帮助新能源、半导体企业稳定工艺参数,消除车间氢气安全隐患,保障产品良率与生产安全。
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