蓝景反射膜厚测量仪双探头模块化选型，光斑形态多样化

市面上很多膜厚仪探头方案单一，只有一种光斑规格，要么只能做大光斑大面积平均检测，无法检测芯片、微型光学元件微小区域；要么只有小聚焦光斑，扫描整片基板效率低下。产线安装空间各不相同，部分工位安装距离受限，普通设备安装距离窗口窄，对机械安装精度要求严苛，现场调试难度大。部分设备不区分紫外与近红外型号，特殊波段薄膜检测信噪比不足，用户只能采购多台不同仪器，购置成本大幅上升。