蓝景反射膜厚仪氘卤双光源 190-1100nm 全光谱覆盖

当前市场大量平价反射膜厚仪仅搭载单一卤素光源，光谱区间仅 400~1100nm 可见光近红外波段，缺失 190~400nm 深紫外关键波段，存在先天检测盲区。紫外波段是 20~100nm 超薄氧化膜、光刻胶、有机透明涂层的核心识别波段，缺少紫外光会导致超薄薄膜干涉信号微弱、多层复合膜分层解析失效，仅能检测 50nm 以上单层厚膜，半导体、紫外光学元件、新能源超薄涂层等场景无法使用，企业需额外采购专用紫外测厚设备，采购与运维成本翻倍。单一光源光谱存在断层，梯度膜、多层滤光膜拟合误差大，无法同步解析每层膜光学常数，研发与量产检测效率极低。