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蓝景 TOC 分析仪(电导率法):ppb级精准监测,助力芯片良率提升

更新时间:2025-12-26      点击次数:22

半导体晶圆制造过程中,超纯水的纯度要求极-致严苛,水中痕量有机碳残留会吸附在晶圆表面,影响光刻、蚀刻等关键工艺,直接导致芯片良率下降。我们的TOC分析仪(电导率法),以ppb级高灵敏度检测能力,专为半导体超纯水监测打造,精准捕捉痕量有机碳,为半导体精密制造保驾护航。

 

制冷型气体红外热成像仪_01.jpg

 

极-致灵敏度,捕捉痕量隐患。半导体超纯水对TOC含量要求极-高,通常需控制在1ppb以下。我们的分析仪检测范围覆盖0.001mg/L~1.600mg/L(1ppb~1600ppb),示值误差仅±5%,重复性RSD≤2%,能精准捕捉超纯水中的痕量有机碳,远超行业监测标准。采用双波长高效氧化技术,185nm+254nm紫外灯产生强氧化性自由基,确保有机物彻-底氧化,结合差值电导率检测,彻-底消除无机碳干扰,每一组数据都精准可靠。

 

制冷型气体红外热成像仪_09.jpg

 

稳定运行,适配连续生产需求。半导体生产为24小时连续化流程,超纯水监测容不得丝毫中断。仪器支持长期连续在线运行,响应时间<12min,能快速反馈水质状况,第-一时间发现水质波动,避免因水质问题导致的生产中断与晶圆报废。无试剂设计,纯物理光氧化原理,减少了因试剂更换、设备维护带来的停机时间;长寿命石英反应器与紫外灯设计,进一步提升设备稳定性,年维护成本大幅降低。

 

 

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